DRAM 소자 이해 - 1. DRAM 구조
DRAM이란? : DRAM(Dynamic Random Access Memory) 이란 휘발성 메모리를 말한다. 전원을 공급해 주어야 데이터들이 유지되는 메모리이다. - DRAM의 재료 : Single Crystalline Si로 현재 wafer는 300mm에서 450mm 로 양산이 변경되는 추세이다. 위 사진은 Wafer Shot Map으로 각각의 칸은 Chip을 나타내며, Chip에는 여러개의 Die와 Scribe line이 존재한다. Scribe Lane은 Chip들을 구분하는 역할도 하지만, 대표성있는 transistor 1개를 이 영역을 통해 만들어 소자 특성을 확인하거나, Photo Align Key, Etch가 얼마나 되었는지 확인하는 용도로 사용이 가능하다. 불량률은 wafer의 가장자리가 ..
반도체/메모리
2024. 2. 15. 20:13
